電子級(jí)多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)

能源和環(huán)境問(wèn)題日益成為各方關(guān)注的焦點(diǎn)，為了實(shí)現(xiàn)能源和環(huán)境的可持續(xù)發(fā)展，世界各國(guó)都將太陽(yáng)能發(fā)電行業(yè)作為發(fā)展的重。多晶硅還是信息產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)最基礎(chǔ)的原材料，還原工藝是多晶硅生產(chǎn)的關(guān)鍵工藝和成品工藝，其工藝條件和參數(shù)控制好壞直接影響產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量。電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)工藝要求很高，要在“無(wú)油、無(wú)水、無(wú)塵”的環(huán)境下運(yùn)行。



目前多晶硅生產(chǎn)多數(shù)采用改良西門(mén)子法，用來(lái)生產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)電子級(jí)多晶硅；還原爐和氫化爐是改良西門(mén)子法生產(chǎn)多晶硅的核心設(shè)備，其運(yùn)行好壞直接影響多晶硅質(zhì)量及生產(chǎn)成本。鐘罩清洗不干凈、光潔度不夠，常常導(dǎo)致硅芯擊不穿或產(chǎn)品質(zhì)量污染，所以鐘罩清洗設(shè)備對(duì)多晶硅生產(chǎn)非常重要。

經(jīng)過(guò)多年來(lái)客戶的實(shí)際應(yīng)用和需求，通過(guò)總結(jié)借鑒國(guó)內(nèi)外經(jīng)驗(yàn)，德高潔對(duì)污染和潔凈的概念和控制有了更全面的認(rèn)識(shí)，充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，研發(fā)電子級(jí)多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)。

德高潔電子級(jí)多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)包括低壓熱水清洗動(dòng)力裝置、三維洗罐器、旋轉(zhuǎn)和升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)、清洗工作臺(tái)、萬(wàn)級(jí)凈化干燥系統(tǒng)、循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)、控制裝置、微負(fù)壓系統(tǒng)、清洗工作臺(tái)、電氣控制系統(tǒng)等，系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了鐘罩的全自動(dòng)清洗和烘干操作。



電子級(jí)多晶硅還原爐鐘罩自動(dòng)清洗系統(tǒng)特點(diǎn)：

1、多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)以3D形式的網(wǎng)狀噴射來(lái)完成爐筒內(nèi)部表面的水力掃射，加之萬(wàn)級(jí)凈化干燥系統(tǒng)，完全滿足電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)的需求。

2、自動(dòng)化程度高，清洗時(shí)只需一鍵操作即可，操作簡(jiǎn)單方便。自動(dòng)控制系統(tǒng)能實(shí)現(xiàn)對(duì)還原爐鐘罩的自動(dòng)清洗和烘干，清洗烘干時(shí)間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數(shù)可以根據(jù)需要自行調(diào)整設(shè)定，同時(shí)具有半自動(dòng)或手動(dòng)功能。

3、在整個(gè)還原爐的清洗過(guò)程中，清洗、干燥中筒內(nèi)形成微負(fù)壓狀態(tài)，防止清洗外溢，同時(shí)將底座與筒體下法蘭處的污染物等一并吹掃，通過(guò)排污管排出，從而保證了整個(gè)過(guò)程不會(huì)對(duì)潔凈區(qū)造成污染。全密閉式清洗烘干系統(tǒng)，使污染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下，按設(shè)計(jì)出口排放，基本消除了對(duì)現(xiàn)場(chǎng)及操作人員的污染。

4、德高潔電子級(jí)多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)性能可靠，核心部件、元件和附件原裝進(jìn)口。電子級(jí)多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)的適應(yīng)范圍廣，一套系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)多種型號(hào)鐘罩的清洗烘干。

多晶硅鐘罩的清洗方式多種多樣，有高壓清洗、化學(xué)溶劑低壓清洗、機(jī)械拋光等，德高潔多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)覆蓋了國(guó)內(nèi)90%的多晶硅企業(yè)，為多晶硅行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗系統(tǒng)。這套電子級(jí)多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)經(jīng)過(guò)反復(fù)摸索求證，可根據(jù)不同的鐘罩、不同車間廠房不同能源條件，提供個(gè)性化設(shè)計(jì)，節(jié)省了人力物力，大大降低勞動(dòng)強(qiáng)度，這也對(duì)提高多晶硅品質(zhì)產(chǎn)生重要意義，取得了一定的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。